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松谷晃宏部門長（オープンファシリティセンター　マイクロプロセス部門）が，JSAPフォト＆イラストコンテストにおいて最優秀賞を受賞（2021年9月23日）

受賞2021.09.23

受賞者	松谷晃宏部門長（オープンファシリティセンター　マイクロプロセス部門）
受賞先	第18回JSAPフォト＆イラストコンテスト
賞	最優秀賞
受賞タイトル	雲棚引くマイクロ富士
受賞日	2021年9月23日

受賞内容

ある材料の深掘りドライエッチング（Deep-RIE）の条件探索中の出来事です。比較のために用いたSi基板のエッチング形状を電子顕微鏡で観察していたところ，突然，絶景に出会いました。金属のエッチングマスクの上に雪（反応生成物）が積もり、絶妙な応力のバランスとアンダーカット形状で，北斎の浮世絵のような，標高約20 µmの富士山に雲がたなびく景色となりました。約30年前の電子顕微鏡のブラウン管のモニタを撮影したため、画面は緑色でノイズやチャージアップも多いですが，ミクロの世界の富士山をご堪能ください。

■JSAPフォト＆イラストコンテストとは...

応用物理学会（JSAP）と日刊工業コミュニケーションズが年２回開催しているサイエンス的フォトコンテストです。

読売新聞に掲載されました

掲載紙	読売新聞　夕刊
タイトル	ミクロの「緑富士」出現
掲載日	2022年1月13日（木）

問合せ

松谷晃宏部門長（オープンファシリティセンター　マイクロプロセス部門）
https://www.ofc.titech.ac.jp/~semimem/

参考リンク
▶科学技術創成研究院

松谷晃宏部門長（オープンファシリティセンター マイクロプロセス部門）が，JSAPフォト＆イラストコンテストにおいて最優秀賞を受賞（2021年9月23日）

受賞内容

読売新聞に掲載されました

問合せ

松谷晃宏部門長（オープンファシリティセンター　マイクロプロセス部門）が，JSAPフォト＆イラストコンテストにおいて最優秀賞を受賞（2021年9月23日）