トップ > 異種機能集積研究コア
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石原 昇 教授(特任)〔伊藤研〕 | |
居室: J2棟 | Mail-Box: J2-31 | |
TEL: 045-924-5056 | ||
E-mail: ishihara.n.aa(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
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HomePage: http://www.ateal.first.iir.titech.ac.jp/ |
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大場 隆之 教授(特任)〔伊藤研〕 | |
居室: J3棟 | Mail-Box: J3-132 | |
TEL: 045-924-5866 | ||
E-mail: ohba.t.ac(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
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HomePage: http://www.wow.pi.titech.ac.jp/ |
・量産対応WOW/COWプロセス、装置、材料の開発
・BBCube 2.5D/3Dシステムの開発
・BBCube熱設計と放熱技術の開発
・ワイドバンドギャップ材料の開発
・WOWアライアンスによる社会実装
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バンプを使わないウエハ間の垂直配線技術 |
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道正 志郎 教授(特任)〔伊藤研〕 | |
居室: J2棟 | Mail-Box: J2-31 | |
TEL: 045-924-5019 | ||
E-mail: dosho.s.aa(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
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HomePage: http://www.ateal.first.iir.titech.ac.jp/ |
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中村 友二 教授 (特任)〔伊藤研〕 | |
居室: R2棟 | Mail-Box: R2-32 | |
TEL: 045-924-5083 | ||
E-mail: nakamura.t.bh(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
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HomePage: http://www.wow.pi.titech.ac.jp/ |
・高い消費電力の電子デバイスから生じる熱を,2相流(液相+気相)を用いて,分散・輸送・交換する冷却デバイスの開発
・水の蒸発,輸送,凝集を統一的に取り扱える,2相流のComputational Fluid Dynamicsシミュレーション
ベーパーチャンバー(VC)の断面概略図
試作したVCの熱伝達性能
町田 克之 教授 (特任)〔伊藤研〕 | ||
居室:J2棟 | Mail-Box:J2-31 | |
TEL:045-924-5019 | ||
E-mail:machida.k.ad(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
CMOS-MEMS加速度センサのSEM写真と下部のLSIの写真
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依田 孝 教授(特任)〔大場研〕 | |
居室: R2棟 | Mail-Box: R2-32 | |
TEL: 045-924-5083 | ||
E-mail: yoda.t.ab(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
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HomePage: http://www.wow.pi.titech.ac.jp/ |
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n-Buffer SiC layerにおけるライフタイム評価用デバイス | 4H-SiC結晶中のBPD欠陥のRamanスペクトル |
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CHEN Kuan-Neng 教授(特任)〔伊藤研〕 | |
居室:J3棟 | Mail-Box:J3-132 | |
TEL:045-924-5866 | ||
E-mail: chen.k.af(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
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HomePage: |
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金 永奭 教授(特定)〔伊藤研〕 | |
居室: J3棟 | Mail-Box: J3-132 | |
TEL: 045-924-5866 | ||
E-mail: youngsuk.k.aa(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
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HomePage: http://www.wow.pi.titech.ac.jp/ |
・DRAM 300mmウエハの極限薄化(~2ミクロン)開発
・バンプを使わないウエハ間の垂直配線技術の開発
・薄化されたデバイスの欠陥発生機構およびデバイス特性の解析
光が透過する厚さまで薄化したDRAM300mmウェハ