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無線IoT端末電源として性能向上に期待

要点

• エレクトレット型MEMS振動発電素子は従来，材料選択・設計・作製に制約があった。
• MEMS可変容量素子とエレクトレット層を切り離した新原理の振動発電素子を開発し，開発の自由度が向上。
• 環境からのエネルギーハーベスティング技術の性能向上を実現。

概要

東京工業大学　科学技術創成研究院　未来産業技術研究所の山根大輔助教（兼科学技術振興機構（JST）さきがけ研究者）は，東京大学　先端科学技術研究センターの年吉洋教授，本間浩章研究員と共同で，MEMS可変容量素子とエレクトレット層を物理的に切り離した新原理の振動発電素子の開発に成功しました。

個別に作製したMEMSとエレクトレットを電気配線で接続するだけで発電可能な新しい振動発電原理を実証した。これは，従来のエレクトレット振動発電における制約条件を打破する成果であり，今後，無線IoTセンサーなどへ向けたエネルギーハーベスティング技術の性能向上につながると期待される。

従来のエレクトレット型MEMS振動発電素子は，MEMS可変容量素子内にエレクトレット層を形成したため，材料選択・設計・作製方法などに多くの制約があった。

研究成果は，2019年1月28日に韓国ソウルで開催された国際会議「MEMS 2019（The 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems）」で発表されました。

左から　年吉洋教授，山根大輔助教，本間浩章研究員

メディア掲載

日本経済新聞（2019年1月28日掲載）
東工大など，振動発電素子のエレクトレット外付けに成功
https://www.nikkei.com/article/DGXLRSP501052_Y9A120C1000000/

EE Times Japan（2019年1月28日掲載）
材料選択や設計の自由度を向上：東工大、振動発電素子のエレクトレットを外付け
https://eetimes.jp/ee/articles/1901/29/news018.html

研究者・留学生向け英文メールニュース「Tokyo Tech Bulletin No. 54」（2019年3月26日配信）
“Putting that free energy around you to good use with minuscule energy harvesters”
– Scientists at Tokyo Tech developed a micro-electromechanical energy harvester that allows for more flexibility in design, which is crucial for future IoT applications.

ＪＳＴプレスリリース（東工大と共同発表）（2019年1月27日）
「振動発電素子のエレクトレット外付けに成功　－無線IoT端末電源として性能向上に期待－」
https://www.jst.go.jp/pr/announce/20190127/index.html

Eurekalert AAAS（2019年1月27日）
「Putting that free energy around you to good use with minuscule energy harvesters」
https://www.eurekalert.org/pub_releases/2019-01/tiot-ptf012519.php

電波新聞（2019年2月1日（金）8面）
東工大と東大　新原理の振動発電素子を開発
エネルギーハーベスティング技術性能向上に期待
https://www.dempa.co.jp/

問合せ先

伊藤浩之研究室
http://masu-www.pi.titech.ac.jp/
山根大輔（電子機能システムコア・助教）
http://masu-www.pi.titech.ac.jp/member_files/daisuke_yamane/daisuke_yamane.html