トップ > 最新情報 > 依田孝特任教授(ニューフレアテクノロジー未来技術共同研究講座) 着任挨拶
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依田 孝 教授(ニューフレアテクノロジー未来技術共同研究講座)
平成30年7月1日付で,未来産業技術研究所ニューフレアテクノロジー未来技術共同研究講座の特任教授に着任致しました依田 孝です。
これまでSi-LSIを中心としたプロセス/装置研究開発に従事し,直近では電子ビームマスク描画装置の要素技術開発,エピタキシャル成長装置開発などを手掛けて参りました。今後のビジネス展開におけるグローバル競争力に更なる磨きをかける為,改めて基礎研究の必要性を痛感し,この度共研講座を開設致しました。時代の転換点を迎えつつある昨今,東工大という研究プラットフォームを生かしつつ,手探りながら新たな産学連携スキームを構築したいと考えております。
今後とも皆様方のご指導,ご助言よろしくお願い致します。