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先進メカノデバイス研究コア

	𠮷田和弘　教授
	居室: R2棟	Mail-Box: R2-42
	TEL: 045-924-5011
	E-mail: yoshida.k.ab(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい
	HomePage: http://yoshida-www.pi.titech.ac.jp

最近の研究課題

・機能性流体を応用したソフトマイクロアクチュエータ
・交流圧力源を用いた多自由度マイクロアクチュエータシステム
・流体慣性を応用した高出力圧電マイクロポンプ
・交流電気浸透を応用したマイクロ流体デバイス
・流体パワーを用いた管内作業マイクロロボット

研究の概要

	吉岡勇人　教授（特定）
	居室: G2棟	Mail-Box: G2-19
	TEL: 045-924-5029
	E-mail: yoshioka.h.aa(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい
	HomePage: https://www.upm.first.iir.titech.ac.jp/

研究分野　超微細加工
研究目的・意義　超精密加工を目的としたナノ計測・ナノ運動制御技術の確立
最近の研究課題

・高速高剛性スピンドルシステム
・多自由度超精密位置決めシステム
・超精密加工のインプロセスモニタリング
・回転工具用高速工具サーボ
・機能性表面の創成と評価
・革新的知能化生産システム

三次元ナノ形状計測システム

サブナノメートル位置決めテーブルシステム

	田島　真吾　助教
	居室: G2棟	Mail-Box: G2-19
	TEL: 045-924-5029
	E-mail: tajima.s.ac(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい
	HomePage: https://www.upm.first.iir.titech.ac.jp/

デカップルドFIRフィルタリング技術を用いたリアルタイムで滑らかな作業座標系での工具位置姿勢補間

研究組織