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依田孝特任教授（ニューフレアテクノロジー未来技術共同研究講座） 着任挨拶
着任挨拶
依田 孝 教授（ニューフレアテクノロジー未来技術共同研究講座）
平成30年7月１日付で，未来産業技術研究所ニューフレアテクノロジー未来技術共同研究講座の特任教授に着任致しました依田 孝です。
これまでSi-LSIを中心としたプロセス/装置研究開発に従事し，直近では電子ビームマスク描画装置の要素技術開発，エピタキシャル成長装置開発などを手掛けて参りました。今後のビジネス展開におけるグローバル競争力に更なる磨きをかける為，改めて基礎研究の必要性を痛感し，この度共研講座を開設致しました。時代の転換点を迎えつつある昨今，東工大という研究プラットフォームを生かしつつ，手探りながら新たな産学連携スキームを構築したいと考えております。
今後とも皆様方のご指導，ご助言よろしくお願い致します。
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