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ニューフレアテクノロジー未来技術共同研究講座

	依田　孝　教授（特任）〔伊藤研〕
	居室: S1-304	Mail-Box: S1-2
	TEL: 045-924 -5142
	E-mail: yoda.t.ab(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい
	HomePage:

研究分野 　電子ビーム描画装置，先端薄膜形成装置
研究目的・意義 　電子ビーム描画装置及び先端薄膜形成装置の性能向上に必要な技術開発
最近の研究課題

・高速電子ビーム描画装置技術
・描画データ高速転送技術
・薄膜中欠陥の電気的/物理的評価技術
・新規材料形成技術

縦型高速回転ＣＶＤの構造と特徴

	小笠原宗博　准教授（特任）〔伊藤研〕
	居室: S1-304	Mail-Box: S1-2
	TEL: 045-924 -5142
	E-mail: ogasawara.m.aa(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい
	HomePage:

研究分野 　電子ビーム描画装置
研究目的・意義 　電子ビーム描画装置の性能向上に必要な技術開発
最近の研究課題
・高速電子ビーム描画装置技術
・描画データ高速転送技術

マルチビーム電子ビーム描画装置

研究組織

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国立学校法人　東京工業大学
科学技術創成研究院　未来産業技術研究所

Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology (FIRST),
Institute of Innovative Research (IIR),
Tokyo Institute of Technology