トップ > ニューフレアテクノロジー未来技術共同研究講座
ニューフレアテクノロジー未来技術共同研究講座
 |
依田 孝 教授（特任）〔伊藤研〕 | |
| 居室: S1-304 | Mail-Box: S1-2 | |
| TEL: 045-924 -5142 | ||
| E-mail: yoda.t.ab(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
||
| HomePage: | ||
- 研究分野 電子ビーム描画装置，先端薄膜形成装置
- 研究目的・意義 電子ビーム描画装置及び先端薄膜形成装置の性能向上に必要な技術開発
- 最近の研究課題
・高速電子ビーム描画装置技術
・描画データ高速転送技術
・薄膜中欠陥の電気的/物理的評価技術
・新規材料形成技術
縦型高速回転ＣＶＤの構造と特徴
 |
小笠原 宗博 准教授（特任）〔伊藤研〕 | |
| 居室: S1-304 | Mail-Box: S1-2 | |
| TEL: 045-924 -5142 | ||
| E-mail: ogasawara.m.aa(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
||
| HomePage: | ||
- 研究分野 電子ビーム描画装置
- 研究目的・意義 電子ビーム描画装置の性能向上に必要な技術開発
- 最近の研究課題
・高速電子ビーム描画装置技術
・描画データ高速転送技術
マルチビーム電子ビーム描画装置
このページの先頭へ
国立学校法人 東京工業大学
科学技術創成研究院 未来産業技術研究所
Laboratory for Future Interdisciplinary Research of Science and Technology (FIRST),
Institute of Innovative Research (IIR),
Tokyo Institute of Technology
- すずかけ台キャンパス
-
〒226-8503 神奈川県横浜市緑区長津田町 4259
MAP
Copyright (C) Tokyo Institute of Technology. All rights reserved.