トップ > ニューフレアテクノロジー未来技術共同研究講座
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依田 孝 教授(特任)〔伊藤研/筒井研〕 | ||
居室: J3-409 | Mail-Box: J3-162 | ||
TEL: 045-924 -5142 | |||
E-mail: yoda.t.ab(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
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・高速電子ビーム描画装置技術
・描画データ高速転送技術
・薄膜中欠陥の電気的/物理的評価技術
・新規材料形成技術
薄膜中欠陥の電気的評価技術
SiCエピ膜成膜条件と表面構造シミュレーション(名大共同)
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小笠原 宗博 准教授(特任)〔伊藤研/筒井研〕 | ||
居室: J3-409 | Mail-Box: J3-162 | ||
TEL: 045-924 -5142 | |||
E-mail: ogasawara.m.aa(at)m.titech.ac.jp ※(at)を@に置き換えて下さい |
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![]() TID効果を模擬したモデルを用いたトランジスタ特性シミュレーション |
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![]() ELTトランジスタ構造のTID耐性 |
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